微接触式液体汽化器

VU-900 系列: 通过减少液体与汽化室直接接触的机会,防止热变质,从而稳定地进行液体汽化

  • 采用电磁阀执行器,可达到高精度液体汽化系统控制效果
  • 最适合热不稳定材料,如低k、高k材料和各种金属
  • 通过辐射加热,使汽化室内由双孔喷嘴喷涂的液体快速汽化
  • LM-3000L 系列产品并用可高效控制液体汽化
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