EtherCAT质量流量控制器

MC-5000C 系列: EtherCAT专用MFC

  • 基于SEMI(国际半导体产业协会) E54.20-1108的EtherCAT 数字接口
  • 内置LINTEC独有的环境温度补偿传感器
  • 安装微处理器后功能显著
  • 闭死容积小的隔膜阀
  • 高速高效的压电执行器
  • 下载规格说明书了解详情 MC-5000C series